D’envergure internationale, le Laboratoire de micro et nanofabrication des matériaux (LMN) permet, entre autres, la synthèse et la caractérisation de nanomatériaux, la conception et la mise au point de dispositifs pour de multiples domaines tels que l’optique, la photonique, l’électronique, l’énergie/transport ou le génie biomédical.
Un grand merci à Christophe Chabanier, assistant de recherche au LMN pour la présentation des laboratoires indispensables pour outiller leurs expertises notamment en : optique, photonique et quantique ; photovoltaïque, batteries et conversion de l’énergie ; micro/nanoélectronique ; microdétecteurs chimiques, physiques et mécaniques ; détecteurs biologiques ; bio-matériaux.
Services R&D et parc d’équipements spécialisés en micro et nanofabrication
- Salle blanche de 250 m2 (classe 10 à 1000) + 750 m2 de laboratoire ;
- Unité de lithographie: lithographie électronique (EBPG5200+ installé en 2023), lithographie UV (directe ou avec masque) ;
- Unité de synthèse de couches minces et de nanomatériaux (ablation laser, pulvérisation, évaporation, implantation ionique, PECVD, par voie chimique, …) ;
- Unité de gravure nanométrique (plasma Chloré, Fluoré) et MEMS ;
- Unité de caractérisation des matériaux: microscopique (TEM, SEM, AFM, STM), cristallographique (XRD), chimique (XPS-HAXPES installé en 2022, FTIR, nanoRaman), optique (ellipsométrie, couplage par prisme) et électrique.
Exemples de projets réalisés:
- Développement de guides d’onde optique à faible perte à base de nitrure de silicium (en collaboration avec AEPONYX) ;
- Développement de radiateurs passifs à base de couches minces de VO2 pour les nanosatellites (en collaboration avec MPB Communications) ;
- Fabrication de moules microfuidiques 3D en silicium pour la réplication de puces biologique en plastique par moulage par injection (Sensoreal) ;
- Fabrication de masque de phase pour l’exposition de réseaux de Bragg à périodes variables sur fibre optique (O/E Land) ;
- Analyse par spectroscopie des photoélectrons émis par rayons X (XPS) d’impuretés dans des lingots (5N-Plus) ;
- Détermination de la densité et de l’épaisseur de couches minces par réflectivité des rayons X (Omniplytech) ;
- Analyse XRD pour caractériser la structure cristalline d’échantillons sous forme de poudre (Tekna).
