Physical Electronics – Quantera II
Physical Electronics – Quantera II
| FABRICANT | Physical Electronics |
|---|---|
| MODÈLE | Quantera II |
Description générale :
Analyse chimique moléculaire des premières couches atomiques d’une surface. Fournit une spectroscopie à grande et à micro-zones à haute sensibilité, un profilage inorganique et organique de profondeur supérieur et une analyse entièrement automatisée des échantillons isolants ou conducteurs.
Caractéristiques :
- Faisceau de rayons X focalisé et scan pour l’imagerie et l’analyse des échantillons
- Taille du spot radiographique programmable entre 9 µm et 300 µm (min. ≤ 7,5 µm)
- Analyseur d’énergie de condensateur sphérique avec détection multicanal
- Pistolet ionique à pulvérisation d’argon basse tension haute performance (≥ 5,0 µA à 5 kV)
- Compensation de charge à double faisceau
- Platine d’échantillon de précision à grande course 5 axes
- Manipulation robotisée des plateaux d’échantillons
- Taille de l’échantillon 75 mm x 75 mm x 25 mm ou 100 mm rond (plaquette de 4 pouces)
- Chambre d’analyse à vide ultra élevé pour éviter la contamination
- Vide du système ≤ 6,7 x10-8 Pa
- Pression différentielle du pistolet de pulvérisation ionique Ar ≤ 6,7 x 10-6 Pa
- Sensibilité élémentaire ≥ 15 000 cps à ≤ 0,6 eV, sur Ag 3d5
- Profilage de la profondeur de pulvérisation inorganique et organique la plus performante
- Neutralisation de charge à double faisceau
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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