Physical Electronics – Quantera II

Physical Electronics – Quantera II

FABRICANT Physical Electronics
MODÈLE Quantera II

Description générale :

Analyse chimique moléculaire des premières couches atomiques d’une surface. Fournit une spectroscopie à grande et à micro-zones à haute sensibilité, un profilage inorganique et organique de profondeur supérieur et une analyse entièrement automatisée des échantillons isolants ou conducteurs.

Caractéristiques :

  • Faisceau de rayons X focalisé et scan pour l’imagerie et l’analyse des échantillons
  • Taille du spot radiographique programmable entre 9 µm et 300 µm (min. ≤ 7,5 µm)
  • Analyseur d’énergie de condensateur sphérique avec détection multicanal
  • Pistolet ionique à pulvérisation d’argon basse tension haute performance (≥ 5,0 µA à 5 kV)
  • Compensation de charge à double faisceau
  • Platine d’échantillon de précision à grande course 5 axes
  • Manipulation robotisée des plateaux d’échantillons
  • Taille de l’échantillon 75 mm x 75 mm x 25 mm ou 100 mm rond (plaquette de 4 pouces)
  • Chambre d’analyse à vide ultra élevé pour éviter la contamination
  • Vide du système ≤ 6,7 x10-8 Pa
  • Pression différentielle du pistolet de pulvérisation ionique Ar ≤ 6,7 x 10-6 Pa
  • Sensibilité élémentaire ≥ 15 000 cps à ≤ 0,6 eV, sur Ag 3d5
  • Profilage de la profondeur de pulvérisation inorganique et organique la plus performante
  • Neutralisation de charge à double faisceau

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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