Aligneuse sans masque
Aligneuse sans masque
| FABRICANT | Screen Semiconductor Solutions Co. Ltd |
|---|---|
| MODÈLE | DW-3000 |
Description générale :
Lithographie à écriture directe sans masque
Notre aligneuse sans masque DW-3000 atteint un débit supérieur à 30 plaquettes par heure (1 tête laser). Puisque cet équipement n’utilise pas de masques physiques, il offre une grande flexibilité, permettant de gérer les processus de fabrication d’une tranche à l’autre. Il peut compenser les distorsions globales et locales sur les plaquettes en temps réel et également permettre une traçabilité complète sur chaque matrice (n ° de lot, n ° de plaquette, n ° de matrice,…).
Screen utilise une technologie de commande laser développée depuis de nombreuses années pour exposer des faisceaux laser de haute puissance avec une précision élevée sur le GLV ™. Cette technologie impressionnante permet de contrôler simultanément 8 000 canaux de faisceau laser. De ce fait, la synchronisation à grande vitesse est possible permettant une imagerie à grande vitesse et de haute précision. Cet équipement est le premier doté de la technologie sans masque offrant «une capacité de production»
Caractéristiques :
- Résolution 3 μm (L/S)
- Méthode d’exposition : imagerie directe (méthode de balayage tramé)
- Rapport de réduction : 1:10
- NA (ouverture numérique) : 0,1
- Source lumineuse d’exposition : laser YAG de 16 W (proche de la ligne i : 355 nm)
- Taille de la plaquette : 200 mm
- Précision de superposition : Alignement de la face supérieure : ≤ 1 μm (|M| + 3 σ)
- Alignement de la face arrière (infrarouge) : ≤ 1 μm (|M| + 3 σ)
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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