Ellipsomètre (RC2)

Informations complémentaires

Analyses

• Analyse optique en réflexion avec lumière polarisée (quantitatif)
• Résolution latérale : 200 µm
• Cartographie possible
• Profondeur étudiée : 0.1 à 103 nm

Applications

• Mesure d’épaisseur de films, d’indice de réfraction, d’absorption, d’interfaces, de dopage, d’anisotropie, de rugosité de surface, d’uniformité et de porosité

Caractéristiques

• Équipement hautement spécialisé ayant un double compensateur donnant une grande précision. Possibilité de  mesurer les échantillons à la fois dépolarisants et anisotropes.
• Longueur d’ondes: de 290 nm à 1 690 nm
• Ellipsomètre à angle variable et double compensateur
• Modules disponibles : sonde de focalisation, cellule électrochimique, chambre avec chauffage et refroidissement en environnement contrôlé