+PRÉCIS +EFFICACE +INTÉGRÉ
Pour fabriquer un résonateur MEMS de haute qualité, il est indispensable de connaître les propriétés d’amortissement de ses composants et notamment celles liées aux frictions internes dans les films minces (50 à 500 nm d’épaisseur). Pour la première fois, les Professeurs Vengallatore et Fréchette sont parvenus à mesurer précisément ces données grâce à un microcantilever en silicium permettant de travailler à la limite fondamentale de dissipation établie par amortissement thermoélastique.
Cette stratégie a permis de mettre en évidence un phénomène important dans le domaine des résonateurs MEMS : les films d’or dissipent moins d’énergie que les films d’aluminium ou d’argent entre 100 Hz et 1,5 kHz. De plus, il a été démontré que les phénomènes de frictions internes sont dominés par les défauts induits pendant la fabrication des films. Ces travaux vont permettre d’orienter les méthodes de fabrication pour aller vers des résonateurs de haute qualité.
RÉFÉRENCE
[1] G. Sosale, S. Prabhakar, L.G. Frechette, S. Vengallatore, Journal of Microelectromechanical Systems, 20, 3, 764-773 (2011)
URL: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=5759289&isnumber=5779913
CHERCHEURS IMPLIQUÉS
G. Sosale, D. Almecija et Pr. S.Vengallatore (Université McGill), Pr. L. Fréchette (Université de Sherbrooke)