Ellipsomètre (IR-VASE)

Informations complémentaires

Analyses

• Analyse optique en réflexion avec lumière polarisée dans l’infrarouge (quantitatif)
• Résolution latérale : 1 cm
• Cartographie non possible 

Applications

• Mesure d’épaisseur de films,
• Mesure d’indice de réfraction
• Mesure de composition chimique
• Mesure d’absorption, d’interfaces, de dopage, d’anisotropie et de porosité

Caractéristiques

• Équipement hautement spécialisé permettant de mesurer avec précision l’indice de réfraction dans l’infrarouge lointain ainsi que les bandes d’absorption causées par les liens chimiques. Permet également de déterminer le dopage dans les semiconducteurs
• Longueur d’ondes: de 2 µm à 30 µm
• Ellipsomètre à angle variable avec compensateur
• Modules disponibles : chambre avec chauffage et refroidissement en environnement contrôlé