Spectroscopie Auger (NanoSAM)
Spectroscopie Auger (NanoSAM)
Informations complémentaires
| FABRICANT | Omicron Nanotechnology |
|---|---|
| MODÈLE | NanoSAM |
Équipement unique au monde muni d’un détecteur EBSD en UHV
- Analyse élémentaire et chimique (dans certains cas) de manière semi-quantitative
- Profondeur étudiée : 5 à 10 nm maximum
- Cartographie possible
- Possibilité de faire du profilage en profondeur
Applications
- Analyse de surface des métaux et semi-conducteurs
- Analyse de matériau isolant possible mais plus problématique
Caractéristiques
- Détecteur EBSD (diffraction des rétrodiffusés) en UHV
- Résolution latérale: 10 nm
- Éléments détectés: Lithium à Uranium
- Sensibilité : 0.1 at% à 1 at%
- Résolution en profondeur : 2 nm – 20 nm
- Munit d’une chambre de préparation, imagerie durant chauffage, pulvérisation par faisceau d’ions
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