Microscopie à Force Atomique (afm) (XE-150)

Microscopie à Force Atomique (afm) (XE-150)

Informations complémentaires

FABRICANT Park Systems
MODÈLE XE-150

Échantillons

  • Taille d’échantillons : 150 mm (6 po) maximum
  • Épaisseur : 25 mm (1 kg) maximum

Analyses

  • Mode : contact et non-contact
  • Principalement utilisé pour la métrologie non-destructive sur échantillons (gravures et lithographie) et caractérisation de la rugosité de couches minces

Caractéristiques

  • Résolution latérale : 1.5 nm (closed-loop), 0.01 nm (open-loop)
  • Cartographie possible
  • Balayage XY avec système de rétro-action en boucle fermée (closed-loop feedback control)
  • Dimension scan XY: 100 x 100 µm2 – Scan vertical: 12 µm
  • Niveau de bruit du balayage en Z : 0.05 nm (maximum)
  • Plateau motorisé avec un déplacement maximal de 225 × 150 mm (résolution: 0.5 µm)
  • Acquisition de données programmable en multiple points
  • Caméra CCD haute resolution ( MPx) – champ de vision maximum de 1680 x 1260 µm
  • Table anti-vibration active and chambre acoustique
  • Pointes très profilées pour la métrologie de nanostructures avec un rapport d’aspect élevé
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