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Caractérisation 171

Préparation d'échantillons pour la microscopie électronique 1Caractérisation spectrométrique et spectroscopique 26Épaisseur de couches minces 9Caractérisation électrique 3Caractérisation électrochimique 6Caractérisation physico-chimique 17Caractérisation thermique 8Microscopie 21

Synthèse de matériaux et traitement de surface 26

Croissance de couches minces et micro/nanoparticules 9Synthèse de matériaux organiques 1Structuration de surface par voie électrochimique 1Procédés 'backend/frontend' 1

Salles blanches 59

Procédés thermiques 7Gravure 3Autre type de mise en forme 6Lithographie optique et électronique 7Croissance de couches minces et micro/nanoparticules 4Procédés 'backend/frontend' 3

Mise à l’échelle 39

Procédés 'backend/frontend' 3Banc d'essai pilote 11Techniques de caractérisation - grand débit 4Réacteur 1

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Microscopie

Microscope optique et platine chauffante/refroidissante

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Microscope électronique à Balayage – Faisceau d’ions focalisés (MEB-FIB)

Microscope Électronique à Balayage (sem) (Quanta 3D FEG)

Microscopie Électronique à Balayage (sem) (JSM 7401F)

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Microscopie Électronique en Transmission (tem)