Microscopie à Force Atomique (afm) (NanoMan VS)

Microscopie à Force Atomique (afm) (NanoMan VS)

Informations complémentaires

FABRICANT Veeco
MODÈLE NanoMan VS

Échantillons

  • Samples size : 150 mm maximum

Analyses

  • Mode : contact, non-contact, force latérale, image de phase, force magnétique, force électronique, potentiel de surface et résonance de torsion.
  • Plage de balayage : 90 µm (X-Y), 9 µm (Z)
  • Nombre de points de mesure par image : 5120 x 5120
  • Résolution : 16 bits
  • Platine motorisée : plage d’opération de 120 x 100 mm

Applications

  • Analyse des petites surfaces de phase
  • Validation de surfaces finies de photorésines à l’échelle nanométrique
  • Analyse de surface de matériaux durs

Caractéristiques

  • Bruit en Z : moins de 0.1 nm RMS
  • Résolution unidirectionnelle : 2 µm
  • Vitesse et dimensions de balayage ajustables
  • Taille d’échantillons : 150 mm maximum
  • Épaisseur : 12 mm maximum
  • Limitations: certains matériaux semi-cristallins peuvent être analysés
  • Incompatibilité: tous les matériaux mous

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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