Microscope Électronique à Balayage (sem) (Quanta 3D FEG)

Informations complémentaires

Échantillons

• Muni d’un canon à effet de champs (FEG) permettant l’observation d’échantillons non-conducteurs
• Muni d’une source d’ion Ga+ : 2 à 30 kV, 1 pA à 65 nA avec une résolution de 7 nm

Analyses

• Canon à électron : 200 V à 30 kV, 200 nA maximum
• Résolution : 1,2 nm

Variantes

• Spectromètre de dispersion d’énergie (EDS) des rayons X pour l’analyse élémentaire par rayons X 

Applications

• Observation d’échantillon à l’échelle nanométrique (SEM)
• Analyse élémentaire par rayons X (EDS)
• Gravure à l’échelle nanométrique (FIB)
• Analyse de coupes transverses de dépôts multicouches (FIB-SEM)