Spectroscopie Auger (JAMP-30 Auger Microprobe)
Spectroscopie Auger (JAMP-30 Auger Microprobe)
Informations complémentaires
| FABRICANT | JEOL |
|---|---|
| MODÈLE | JAMP-30 Auger Microprobe |
Équipement unique au Québec permettant :
- La rupture in-situ de pièce refroidie à l’azote liquide pour analyse de la surface de rupture sans contamination
- Analyse semi-quantitative de la composition chimique en surface et profile
- Profondeur étudiée : jusqu’à 1 µm
- Cartographie possible en surface et en profondeur
- Résolution latérale : ~ 1 µm
- Munit d’un faisceau ionique d’argon pour pulvérisation (profil en profondeur)
Applications
- Profil de composition de couches minces
- Étude de contamination de surface
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