Microscopie à Force Atomique (afm) (XE-150)

Informations complémentaires

Échantillons

• Taille d’échantillons : 150 mm (6 po) maximum
• Épaisseur : 25 mm (1 kg) maximum

Analyses

• Mode : contact et non-contact
• Principalement utilisé pour la métrologie non-destructive sur échantillons (gravures et lithographie) et caractérisation de la rugosité de couches minces

Caractéristiques

• Résolution latérale : 1.5 nm (closed-loop), 0.01 nm (open-loop)
• Cartographie possible
• Balayage XY avec système de rétro-action en boucle fermée (closed-loop feedback control)
• Dimension scan XY: 100 x 100 µm2 – Scan vertical: 12 µm
• Niveau de bruit du balayage en Z : 0.05 nm (maximum)
• Plateau motorisé avec un déplacement maximal de 225 × 150 mm (résolution: 0.5 µm)
• Acquisition de données programmable en multiple points
• Caméra CCD haute resolution ( MPx) – champ de vision maximum de 1680 x 1260 µm
• Table anti-vibration active and chambre acoustique
• Pointes très profilées pour la métrologie de nanostructures avec un rapport d’aspect élevé