Microscope électronique à Balayage – Faisceau d’ions focalisés (MEB-FIB)

Microscope électronique à Balayage – Faisceau d’ions focalisés (MEB-FIB)

Informations complémentaires

FABRICANT Tescan
MODÈLE Lyra3

Description

  • Faisceau d’Ions Focalisé (FIB) intégré avec un Microscopie Électronique à Balayage (MEB) pour la préparation des échantillons TEM
  • Système d’injection de gaz (SIG) pour décapage ou dépôt de couches minces (5-GIS de Orsayphysics) équipé de 5 précuseurs
  • Nanomanipulateur OmniProbe 200 d’Oxford Instrument
  • Caractérisation par spectroscopie d’énergie dispersive (SED) (Quantax de Bruker, détecteur X-Flash 6160)

Applications

  • Observation d’échantillon à l’échelle nanométrique (MEB) via émission d’électrons secondaires ou rétrodiffusés
  • Analyse élémentaire par rayons X (SED)
  • Gravure à l’échelle nanométrique (FIB)
  • Analyse de coupes transverses de dépôts multicouches (FIB-MEB)

Spécifications techniques

  – Optiques MEB

    •  Canon d’électrons : – Émetteur Schottky à haute luminosité, tension d’accélération 0.2-30kV
    •  Courant de sonde : 2pA à 200nA
    •  Résolution : en mode SE, 1.2 nm à 30 kV et 3.0 nm à 3 kV, en mode BSE, 2.0 nm à 30kV
    •  Grossissement : 1X à 1,000,000X

  – Optiques ioniques

    •  Canon d’ions : source de Galium liquide
    •  Résolution : < 5 nm à 30 kV / < 2.5 nm à 30 kV (au point de coïncidence MEB-FIB)
    •  Grossissement : 150X à 1,000,000X
    •  Angle entre MEB et FIB : 55o
    •  Tension d’accélération : 0.5kV à 30 kV
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