Gravure de relâchement
Gravure de relâchement
| FABRICANT | SPTS |
|---|---|
| MODÈLE | Outils multiposte équipé de : Primaxx Monarch 25 | Xactix CVE | Heat module |
Description générale :
Gravure phase vapeur de silicium et d’oxyde de silicium
Caractéristiques :
Primaxx fxP
(VHF)
- Procédé par groupe de tranche (jusqu’à 25)
- Taux de gravure de 0.1 à 10 um/min
- Uniformité de gravure par tranche: ≤ 7%
- Répétabilité de gravure: ≤ 4%
- Sélectivité au silicium > 10 000 : 1
- Recette sélective au nitrure de silicium disponible
Xactix CVE
(XeF2)
- Procédé tranche par tranche
- Taux de gravure de 0.1 à 10 um/min
- Uniformité de gravure par tranche: ≤12%
- Répétabilité de gravure: ≤ 5%
- Sélectivité à l’oxyde > 10 000 : 1
- Recette sélective au nitrure de silicium disponible
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