Ellipsomètre (M-2000)

Ellipsomètre (M-2000)

Informations complémentaires

FABRICANT J.A. Woollam
MODÈLE M-2000

Échantillons

  • Taille d’échantillons : jusqu’à 150 mm x 150 mm (6ˮ x 6ˮ)
  • Épaisseur : maximum 1 cm

Analyses

  • Mesure des indices optiques et épaisseur de couches minces (quantitative)
  • Cartographie 3D possible
  • Résolution spectrale : 0.05 nm
  • Mesure en réflexion

Applications

  • Vérification rapide d’épaisseur de photorésine

Caractéristiques

  • Longueur d’ondes: 370 nm à 1000 nm
  • Porte d’échantillon: petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm
  • Sondes améliorant la résolution jusqu’à 150 µm
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