Ellipsomètre (M-2000)
Ellipsomètre (M-2000)
Informations complémentaires
FABRICANT | J.A. Woollam |
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MODÈLE | M-2000 |
Échantillons
- Taille d’échantillons : jusqu’à 150 mm x 150 mm (6ˮ x 6ˮ)
- Épaisseur : maximum 1 cm
Analyses
- Mesure des indices optiques et épaisseur de couches minces (quantitative)
- Cartographie 3D possible
- Résolution spectrale : 0.05 nm
- Mesure en réflexion
Applications
- Vérification rapide d’épaisseur de photorésine
Caractéristiques
- Longueur d’ondes: 370 nm à 1000 nm
- Porte d’échantillon: petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm
- Sondes améliorant la résolution jusqu’à 150 µm
Pour utiliser cet équipement
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