Ellipsomètre (VVASE)

Informations complémentaires

FABRICANT J.A. Woollam
MODÈLE VVASE

Échantillons

  • Taille d’échantillons : maximum 150 mm x 150 mm (6ˮ x 6ˮ)
  • Épaisseur : maximum 1 cm

Analyses

  • Mesure des indices optiques et épaisseur de couches minces (quantitative)
  • Cartographie possible
  • Résolution spectrale : 0.05 nm
  • Mesures en réflexion ou transmission

Applications

  • Mesure d’épaisseur de films anisotropiques
  • Mesure de transmission de lentille diélectrique 

Caractéristiques

  • Longueur d’ondes: de 240 nm à 2500 nm
  • Porte-échantillon micrométrique balayant une surface de 45 mm x 45 mm sur échantillon jusqu’à 150 mm
  • Analyse ellipsométrique en température de 20 ºC à 300 ºC
  • Auto-retardateur pour mesure de dépolarisation
  • Sonde de focus pour taille de sonde de 100 µm

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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