Profilomètre (XP-2)

Informations complémentaires

Analyses

• Profondeur étudiée : plus de 50 nm
• Épaisseur des échantillons : 30 mm max, latitude verticale : 400 µm max
• Résolution verticale : 1 Å à 10 µm, 15 Å à 100 µm
• Résolution latérale : 100 nm

Applications

• Caractérisation de dimensions (hauteur, largeur) de motifs de gravure ou de lithographie
• Mesure de stress de couches minces
• Caractérisation de rugosité de surface

Caractéristiques

• Plateau motorisé de 150 mm x 178 mm
• Longueur maximum d’un simple scan : 60 mm avec la possibilité de raccorder numériquement les scans jusqu’à 150 mm
• Force du stylet : 0.5 mg à 10 mg programmable
• Logiciel de rendu 3D et de mesure de stress
• Acquisition des scans en format numérique
• Camera CCD couleur avec zoom motorisé 40x à 160 x
• Table anti-vibration (Herzan DT-6050MV)
• Support amovible de 200 mm pour mesure de stress sur gaufres
• Hauteurs de marche standards 1 micron et 100 nm certifiées NIST
• Stylets de 40 degrés – 2, 1 et 0.2 µm