Profilomètre (XP-2)
Profilomètre (XP-2)
Informations complémentaires
| FABRICANT | Ambios |
|---|---|
| MODÈLE | XP-2 |
Analyses
- Profondeur étudiée : plus de 50 nm
- Épaisseur des échantillons : 30 mm max, latitude verticale : 400 µm max
- Résolution verticale : 1 Å à 10 µm, 15 Å à 100 µm
- Résolution latérale : 100 nm
Applications
- Caractérisation de dimensions (hauteur, largeur) de motifs de gravure ou de lithographie
- Mesure de stress de couches minces
- Caractérisation de rugosité de surface
Caractéristiques
- Plateau motorisé de 150 mm x 178 mm
- Longueur maximum d’un simple scan : 60 mm avec la possibilité de raccorder numériquement les scans jusqu’à 150 mm
- Force du stylet : 0.5 mg à 10 mg programmable
- Logiciel de rendu 3D et de mesure de stress
- Acquisition des scans en format numérique
- Camera CCD couleur avec zoom motorisé 40x à 160 x
- Table anti-vibration (Herzan DT-6050MV)
- Support amovible de 200 mm pour mesure de stress sur gaufres
- Hauteurs de marche standards 1 micron et 100 nm certifiées NIST
- Stylets de 40 degrés – 2, 1 et 0.2 µm
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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