Spectroscopie de Photoélectrons X (xps) (Escalab MkII)

Informations complémentaires

Analyses

• Appareil multisegment ayant un système à ultra-haut vide
• Analyse de surfaces couplant 4 techniques de caractérisation :Spectroscopie de photoélectron X (XPS), Spectrométrie de masse à ionisation secondaire (SIMS), Ion Scattering Spectroscopy (ISS), Microscopie Auger à Balayage (ASM)

Caractéristiques

• Source double Mg-Al
• Analyseur hémisphérique de grand rayon
• Détection monocanal
• Résolution de 0.88 eV sur l’argent
• Réacteur de haute température et de haute pression intégré

MODES

SIMS

• Fabricant : SIMSLAB
• Modèle : MM12-12S
• SIMS-Ar et SIMS-Ga à balayage basé sur un quadripôle de grande dimension
• Résolution de masse : 1 uma (sur un domaine de 1 uma à 800 uma)
• Résolution spatiale : 100 µm (Ar+) et 1 µm (Ga+)

ISS

• Modèle : VG ISS
• Résolution : 1% avec He 1000 eV (Au)

ASM

• Modèle : MicroLab500
• Canon LEG 500 de 30 keV
• Résolution spatiale : 1 µm