TECHNOLOGIE D’ENCAPSULATION PAR SIC

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DES DONNÉES FONDAMENTALES POUR LA FABRICATION DES RÉSONATEURS

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+PRÉCIS +EFFICACE +INTÉGRÉ Pour fabriquer un résonateur MEMS de haute qualité, il est indispensable de connaître les propriétés d’amortissement de ses composants et notamment celles liées aux frictions internes dans les films minces (50 à 500 nm d’épaisseur). Pour la...