Spectroscopie de Photoélectrons X (xps) (Escalab MkII)

Spectroscopie de Photoélectrons X (xps) (Escalab MkII)

Informations complémentaires

FABRICANT VG Scientific
MODÈLE Escalab MkII

Analyses

  • Appareil multisegment ayant un système à ultra-haut vide
  • Analyse de surfaces couplant 4 techniques de caractérisation :Spectroscopie de photoélectron X (XPS), Spectrométrie de masse à ionisation secondaire (SIMS), Ion Scattering Spectroscopy (ISS), Microscopie Auger à Balayage (ASM)

Caractéristiques

  • Source double Mg-Al
  • Analyseur hémisphérique de grand rayon
  • Détection monocanal
  • Résolution de 0.88 eV sur l’argent
  • Réacteur de haute température et de haute pression intégré

 

MODES

SIMS

  • Fabricant : SIMSLAB
  • Modèle : MM12-12S
  • SIMS-Ar et SIMS-Ga à balayage basé sur un quadripôle de grande dimension
  • Résolution de masse : 1 uma (sur un domaine de 1 uma à 800 uma)
  • Résolution spatiale : 100 µm (Ar+) et 1 µm (Ga+)

ISS

  • Modèle : VG ISS
  • Résolution : 1% avec He 1000 eV (Au)

ASM

  • Modèle : MicroLab500
  • Canon LEG 500 de 30 keV
  • Résolution spatiale : 1 µm
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