Profilomètre (Dektak D150)
Profilomètre (Dektak D150)
Informations complémentaires
FABRICANT | Veeco |
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MODÈLE | Dektak D150 |
Échantillons
- Taille d’échantillon: 150 mm de diamètre
- Épaisseur 90 mm
Analyses
- Résolution verticale: 0,1 nm
- Répétabilité verticale: plus de 0,6 nm
- Longueur de balayage: 55 mm
- Platine programmable : plage d’opération de 150 mm x 150 mm, répétabilité 1 µm
- Plage de déplacement verticale: 1 mm
Pour utiliser cet équipement
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