Bonder

Informations complémentaires

FABRICANT SUSS Microtec
MODÈLE SB6E

Échantillons

  • Taille d’échantillon : 25 mm à 150 mm (6 po)
  • Épaisseur : 2 mm minimum

Caractéristiques

  • Température : ambiante à 500 °C
  • Pression : atmosphérique à 5×10-5 mBar
  • Précision d’alignement : 1 µm
  • Forces appliquées : 300 N à 20 kN
  • Déporté sur un aligneur de masque (équipement MA6 de Suss Microtec), l’alignement est réalisé par méthode optique (4 caméras CCD)

TYPES

  • Fusion bonding, glass frit bonding, direct bonding, polymer adhesive, metal eutectic bonding, anodic bonding, diffusion bonding

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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