Évaporateur par Effet Joule (HiVac)
Évaporateur par Effet Joule (HiVac)
Informations complémentaires
| FABRICANT | Conception HiVac System |
|---|---|
| MODÈLE | Fait maison |
Instrument unique au Québec :
- Offrant la possibilité de faire une évaporation sur des microéchantillons en rotation
- Taille d’échantillons : 10 mm à 100 mm
Caractéristiques
- Pression : 0.001 mTorr à 0.0035 mTorr
- Mini moteur DC pour la rotation des échantillons.
- Possibilité de faire une évaporation par canon à électron avant ou après une évaporation par effet joule
PROCÉDÉ DE ROUTINE
Évaporation par effet joule
Déposition SiO2
- Épaisseur : 300 nm à 400 nm
PROCÉDÉ DE ROUTINE
Évaporation par effet joule
Déposition de Métaux
- Au et Pt
- Épaisseur : 30 nm à 180 nm
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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