Aligneuse (EVG 620)
Aligneuse (EVG 620)
Informations complémentaires
| FABRICANT | EV Group |
|---|---|
| MODÈLE | EVG 620 |
Échantillons
- Taille de photomasques : 178 mm (7 po) maximum
- Taille d’échantillons : 150 mm maximum
Caractéristiques
- Source : lampe au mercure 1 000 W
- Sélection spectrale : I-line
- Optique : miroir diélectrique UV moyen (350 nm – 450 nm)
- Sélection de longueur d’onde possible par filtre passe-bande
- Mode d’exposition: proximité, contact ou sous vide, UV-Nanoimprint
- Alignement: par caméra CCD programmable par face avant ou arrière
- Précision d’alignement: 0.5 µm avec lentille 20 X
PROCÉDÉS DE ROUTINE
Photolithographie mode contacte
Sur : résines positives
- Taille de motif minimal atteinte : 0.6 µm
- Épaisseur atteinte : 0.5 µm à 10 µm
Sur : SU8
- Taille de motif minimal atteinte : –
- Épaisseur atteinte : 1 µm à 200 µm
PROCÉDÉS DE ROUTINE
Photolithographie mode contacte
Sur : résines négatives
- Taille de motif minimal atteinte : 0.7 µm
- Épaisseur atteinte : 0.7 µm à 10 µm
Pour utiliser cet équipement
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