Archives des Salles blanches

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Caractérisation 151

Préparation d'échantillons pour la microscopie électronique 1Caractérisation spectrométrique et spectroscopique 22Épaisseur de couches minces 9Caractérisation électrique 3Caractérisation électrochimique 6Caractérisation physico-chimique 10Caractérisation thermique 5Microscopie 20

Synthèse de matériaux et traitement de surface 24

Croissance de couches minces et micro/nanoparticules 9Synthèse de matériaux organiques 1Structuration de surface par voie électrochimique 1Procédés 'backend/frontend' 1

Salles blanches 59

Procédés thermiques 7Gravure 3Autre type de mise en forme 6Lithographie optique et électronique 7Croissance de couches minces et micro/nanoparticules 4Procédés 'backend/frontend' 3

Mise à l’échelle 23

Procédés 'backend/frontend' 3Banc d'essai pilote 8Techniques de caractérisation - grand débit 1

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Salles blanches

Calorimètre différentiel à balayage

Dip-pen Nanomouillage

Implantation Ionique (N/A)

Implantation Ionique (IMC-200)

Système Électronique Imprimée

Imprimante

Photolithographie Laser

Tournette (WS-400)

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Tournette (CEE100)

Gravure par Plasma Haute Densité de Type icp-drie Procédés bosch et cryogénique

Gravure par Plasma Haute Densité de Type icp-drie Procédé cryogénique

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Aligneuse (EVG 620)

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Lithographie ebeam

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Recuit par Fournaise (Four 3 zones 5566)

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Évaporation ebeam