Dépôt de Parylène

Informations complémentaires

FABRICANT Specialty Coating Systems
MODÈLE PDS 2010 LabCoater 2

Échantillons

  • Taille d’échantillons : jusqu’à 150 mm (6 po)
  • Uniformité : moins de 5% sur 100 mm

Caractéristiques

  • Pression : 10-3 Torr
  • Couches conformes
  • Épaisseur des couches : entre 100 nm et 75 µm

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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