Aligneuse (MA4)
Aligneuse (MA4)
Informations complémentaires
| FABRICANT | Karl Süss |
|---|---|
| MODÈLE | MA4 |
Échantillons
- Taille de photomasques : 178 mm (7 po) maximum
- Taille d’échantillons : 100 mm maximum
Caractéristiques
- Sélection spectrale : I-line
- Alignement: face arrière
- Adaptateur de masque 76 mm et 100 mm
PROCÉDÉS DE ROUTINE
Photolithographie en mode contacte
Sur résine positive
- Taille de motif minimal atteinte : 0.8 µm
- Épaisseur atteinte : de 1.4 µm à 10 µm
Sur résine de lift-off
- Taille de motif minimal atteinte : 1 µm
- Épaisseur atteinte : de 0.1 µm à 950 µm
Sur résine d’inversion d’image
- Taille de motif minimal atteinte : 1 µm
- Épaisseur atteinte : de 1.1 µm à 2.0 µm
Pour utiliser cet équipement
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