Aligneuse (MJB3)

Informations complémentaires

FABRICANT Karl Süss
MODÈLE MJB3

Échantillons

  • Taille de photomasque : 75 mm maximum
  • Taille d’échantillons : 10 mm à 50 mm

Caractéristiques

  • Sélection spectrale : bande UV proche ou bande UV lointain (spectre large)

 

PROCÉDÉ DE ROUTINE

Photolithographie mode contacte

Sur : résine positive

  • – Taille de motif minimale : 1 µm
  • – Épaisseur de résine : 0.5 µm à 2 µm

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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