Évaporateur par Effet Joule (HiVac)

Informations complémentaires

FABRICANT Conception HiVac System
MODÈLE Fait maison

Instrument unique au Québec : 

  • Offrant la possibilité de faire une évaporation sur des microéchantillons en rotation
  • Taille d’échantillons : 10 mm à 100 mm
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Caractéristiques

  • Pression : 0.001 mTorr à 0.0035 mTorr
  • Mini moteur DC pour la rotation des échantillons.
  • Possibilité de faire une évaporation par canon à électron avant ou après une évaporation par effet joule

 

PROCÉDÉ DE ROUTINE

Évaporation par effet joule

Déposition SiO2

  • Épaisseur : 300 nm à 400 nm

 

PROCÉDÉ DE ROUTINE

Évaporation par effet joule

Déposition de Métaux

  • Au et Pt
  • Épaisseur : 30 nm à 180 nm

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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