Microscope Électronique à Balayage (sem) (Quanta 3D FEG)

Microscope Électronique à Balayage (sem) (Quanta 3D FEG)

Informations complémentaires

FABRICANT FEI Company
MODÈLE Quanta 3D FEG

Échantillons

  • Muni d’un canon à effet de champs (FEG) permettant l’observation d’échantillons non-conducteurs
  • Muni d’une source d’ion Ga+ : 2 à 30 kV, 1 pA à 65 nA avec une résolution de 7 nm

Analyses

  • Canon à électron : 200 V à 30 kV, 200 nA maximum
  • Résolution : 1,2 nm

Variantes

  • Spectromètre de dispersion d’énergie (EDS) des rayons X pour l’analyse élémentaire par rayons X 

Applications

  • Observation d’échantillon à l’échelle nanométrique (SEM)
  • Analyse élémentaire par rayons X (EDS)
  • Gravure à l’échelle nanométrique (FIB)
  • Analyse de coupes transverses de dépôts multicouches (FIB-SEM)
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