Pulvérisateur cathodique avec cible en or
Pulvérisateur cathodique avec cible en or
| FABRICANT | Cressington |
|---|---|
| MODÈLE | 108auto |
Description générale :
Le pulvérisateur cathodique Cressington 108auto offre un fonctionnement manuel ou automatique. Ses spécifications incluent une entrée de gaz de mise à l’air ainsi qu’un contrôle de purge à l’argon.
En mode automatique, l’appareil peut être piloté de deux façons :
- à l’aide du minuteur numérique, permettant d’obtenir des dépôts reproductibles ;
- ou via le contrôleur MTM-20 (optionnel), qui permet d’arrêter le procédé de pulvérisation lorsque l’épaisseur souhaitée est atteinte.
Le courant de pulvérisation et la pression du gaz argon sont réglés indépendamment, afin d’optimiser les conditions de dépôt selon l’application.
Caractéristiques :
- Saisie simple des paramètres (densité du matériau ; facteur d’outillage de la tête capteur)
- Affichage haute vitesse de l’épaisseur
- Haute résolution : 0,1 nm, quel que soit le matériau
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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