Rainurage des tranches au laser

Rainurage des tranches au laser

FABRICANT Advanced Laser Separation International
MODÈLE ICA 1204

Description générale :

Ablation et découpe de circuiterie de puce active

Caractéristiques :

  • Lampe UV multi faisceaux de 365nm
  • Rainure simple passe de 60 µm de large
  • Capacité d’épaisseur d’échantillon jusqu’à 1.5mm
  • Capacité de découpe jusqu’à 300µm d’épaisseur
  • Type d’échantillon :
    • Grandeurs de puce multiples sur une même tranche
    • Tranche brisée
  • Découpe laser de bord de tranche
  • Stations de nettoyage et de revêtement intégrées
  • Précision de positionnement : 2µm
  • Vitesse maximale des axes x, y : 500 mm/s
  • Type de cadre : FF123

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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