Gravure plasma
Gravure plasma
| FABRICANT | Nordson March |
|---|---|
| MODÈLE | AP1000 |
Description générale :
Nettoyage de surface pour une meilleure adhérence
Caractéristiques :
- Volume de la chambre : 127 litres
- Dimensions de la chambre : 18 La x 24 H x 18 Lo pouces
- Technologie d’une électrode par tablette, pour 14 positions
- Électrodes d’aluminium avec isolateurs en céramiques
- Générateur RF 13.56 MHz avec adaptation de l’impédance automatique
- Réseau de réglage RF automatique de type L-C
- Dimension des tablettes power : 13.74 La x 16.73 Lo pouces
- Dimension des tablettes ground : 15.1 La x 16.73 Lo pouces
- Régulateurs de débit distincts pour 4 gaz
- Gaz actuellement disponibles : oxygène, argon, azote
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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