Inspection des tranches
Inspection des tranches
| FABRICANT | Rudolph Technologies, Inc. |
|---|---|
| MODÈLE | WS3880 |
Description générale :
Inspection automatisée de tranche avant la découpe
Caractéristiques :
- Prise en charge automatique de tranches :
- 200 et 300mm
- Épaisseur de 800µm à 190µm
- Nombre maximal de bump/tranche : 10 millions
- Détection optique 2D : 5µm
- Détection laser 3D : 0.125µm, taux d’acquisition de données de 4 MHz
- Profondeur de champ : 28µm (2D), 200µm (3D)
- Détecteur très haute resolution 3D : 5µm
- Tourelle de lentilles à 5 positions : 1.25X, 2X, 5X, 10X)
- Éclairage en champ clair et champ sombre
- Métrologie 2D et détection de défaut des bumps
- Mesure 3D de hauteur et coplanarité des bumps
- Cartographie de tranche électronique
- Unité intégrée de filtration ISO classe 2
- Révision des défauts sur ordinateur à distance
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