Collage de tranche
Collage de tranche
| FABRICANT | EV Group |
|---|---|
| MODÈLE | GEMINI/200/3 |
Description générale :
Collage de tranches entièrement automatisé pour des tranches de 200 mm
Caractéristiques :
- Traitement de tranches de 200 mm et de dispositifs MEMS intégrés en 3D avec des packages de niveau tranche.
- Coller des tranches de 200 mm en utilisant un collage par fusion, par frittage de verre, eutectique, par thermo-compression, en phase liquide transitoire et par soudure.
- Précision d’alignement de tranche à tranche: ± 0,4 µm (3 sigma)
- Gamme d’épaisseur de tranche: 300 – 1700 µm
- Contrôle de la température: 20 – 550 ° C ± 1,5%
- Contrôle de la force de contact: 1,5 – 100 kN ± 2%
- Contrôle de la pression du gaz: 0,1 – 1000 mbar ± 5%
- Traitement in situ des tranches avec de la vapeur d’acide formique
- Nettoyage de plaquette Megasonic
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