Canon à Électron
Canon à Électron
Informations complémentaires
| FABRICANT | Kurt J. Lesker |
|---|---|
| MODÈLE | AXXIS |
Échantillons
- Taille d’échantillons : maximum 152 mm (6 po)
- Température : ambiante
- Pression : ~ 10-6 Torr
- Uniformité sur la gaufre : 5%
Caractéristiques
- Source 1: Canon d’électrons avec 4 creusets avec sélection automatique.
- Source 2: Pulvérisation cathodique avec cible de 75 mm et source AC
- Source 3: Source d’ions pour assistance durant l’évaporation ou pré-nettoyage.
- Rotation avec angle de 0 à 180 degrés.
- Contrôle in-situ sur l’épaisseur des films déposés
- Porte échantillon refroidi (~ 2 °C, sans rotation)
- Déposition à angle, le porte échantillon peut être orienté vers le port du haut pour de la pulvérisation, vers le côté pour une source d’ions ou vers le bas pour une évaporation
PROCÉDÉS DE ROUTINE
Déposition
- Matériaux disponibles : Au, Al, Ti, Cu, Cr, Pt, Pd, SiO2, …
- Épaisseur : de 10 nm à 1 µm (dépendant du stress de la couche)
- Caractéristiques spéciales : métaux nobles facturés au nm
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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