Dépôt de Parylène
Dépôt de Parylène
Informations complémentaires
| FABRICANT | Specialty Coating Systems |
|---|---|
| MODÈLE | PDS 2010 LabCoater 2 |
Échantillons
- Taille d’échantillons : jusqu’à 150 mm (6 po)
- Uniformité : moins de 5% sur 100 mm
Caractéristiques
- Pression : 10-3 Torr
- Couches conformes
- Épaisseur des couches : entre 100 nm et 75 µm
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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