Spectroscopie Auger (NanoSAM)

Informations complémentaires

FABRICANT Omicron Nanotechnology
MODÈLE NanoSAM

Équipement unique au monde muni d’un détecteur EBSD en UHV

  • Analyse élémentaire et chimique (dans certains cas) de manière semi-quantitative
  • Profondeur étudiée : 5 à 10 nm maximum
  • Cartographie possible
  • Possibilité de faire du profilage en profondeur

Applications

  • Analyse de surface des métaux et semi-conducteurs
  • Analyse de matériau isolant possible mais plus problématique

Caractéristiques

  • Détecteur EBSD (diffraction des rétrodiffusés) en UHV
  • Résolution latérale: 10 nm
  • Éléments détectés: Lithium à Uranium
  • Sensibilité : 0.1 at% à 1 at%
  • Résolution en profondeur : 2 nm – 20 nm
  • Munit d’une chambre de préparation, imagerie durant chauffage, pulvérisation par faisceau d’ions

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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