Aligneuse (200)

Informations complémentaires

FABRICANT OAI
MODÈLE 200

Échantillons

  • Taille de photomasques : 127 mm maximum
  • Taille d’échantillons : 10 mm à 100 mm

Caractéristiques

  • Sélection spectrale : bande UV proche ou bande UV lointain (spectre large)

 

PROCÉDÉ DE ROUTINE

Photolithographie mode contacte

Sur : résine positive

  • Taille de motif minimal : 1 µm
  • Épaisseur atteinte: 0.5 µm à 2 µm

 

PROCÉDÉ DE ROUTINE

Photolithographie mode contacte

Sur : résine négative

  • Taille de motif minimal : 5 µm
  • Épaisseur atteinte : 5 µm à 1000 µm

Pour utiliser cet équipement

Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.

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