Aligneuse (200)
Aligneuse (200)
Informations complémentaires
FABRICANT | OAI |
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MODÈLE | 200 |
Échantillons
- Taille de photomasques : 127 mm maximum
- Taille d’échantillons : 10 mm à 100 mm
Caractéristiques
- Sélection spectrale : bande UV proche ou bande UV lointain (spectre large)
PROCÉDÉ DE ROUTINE
Photolithographie mode contacte
Sur : résine positive
- Taille de motif minimal : 1 µm
- Épaisseur atteinte: 0.5 µm à 2 µm
PROCÉDÉ DE ROUTINE
Photolithographie mode contacte
Sur : résine négative
- Taille de motif minimal : 5 µm
- Épaisseur atteinte : 5 µm à 1000 µm
Pour utiliser cet équipement
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