Évaporation ebeam
Évaporation ebeam
Informations complémentaires
| FABRICANT | Conception HiVac System |
|---|---|
| MODÈLE | Fait maison |
Instrument unique au Québec :
- Offrant la possibilité de faire une évaporation sur des microéchantillons en rotation
- Taille d’échantillons : 10 mm to 100 mm
Caractéristiques
- Pression : 0.001 mTorr à 0.0035 mTorr
- Source Telemark, modèle 211
- Mini moteur DC pour la rotation des échantillons.
- Possibilité de faire une évaporation par effet joule avant ou après une évaporation par canon à électron.
PROCÉDÉS DE ROUTINE
Evaporation
Métaux de métaux
- – Al et Pt
- – Épaisseur: 15 nm à 500 nm
Pour utiliser cet équipement
Les équipements présents sont accessibles à la communauté de recherche académique et industrielle.
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