Gravure dielectrique
Gravure dielectrique
| FABRICANT | SPTS |
|---|---|
| MODÈLE | Versalis FxP APS module |
Description générale :
Outil de gravure à sec en mode cluster
Caractéristiques :
- Module de gravure diélectrique
- Conception de chambre sur mesure pour augmenter la stabilité du processus
- Densité de plasma nécessaire à la gravure réussie de matériaux fortement liés
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