Nettoyage de tranche
Nettoyage de tranche
| FABRICANT |
Akrion |
|---|---|
| MODÈLE | GAMA processor A |
Description générale :
Assurer le nettoyage des plaquettes par voie chimique humide, la préparation des surfaces et la gravure
Caractéristiques :
- Opérations automatisées d’entrée et de sortie des modules SMIF en conditions sèches ;
- Un mini-environnement intégré au banc humide garantit des performances de salle blanche de classe 1 au niveau de la surface des plaquettes ;
- Surveillance en temps réel des particules dans les cuves de produits chimiques ;
- Traitement de plusieurs lots/recettes (jusqu’à 4 recettes simultanément sur un même banc) ;
- Débit élevé et faible coût par plaquette ;
- Analyse chimique en temps réel et ajustements de concentration :
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