Microscope électronique à balayage à émission de champ

Description

FABRICANT Zeiss
MODÈLE GeminiSEM 560

Description générale :

Caractérisation de surface et analyse chimique élémentaire

Caractéristiques :

  • Résolution : 0,5 nm @ 15 kV / 0,8 nm @ 1 kV / 1,0 nm @ 500 V
  • Grossissement: 1X à 2000000X
  • Canon à électrons: Émission de champs (Schottky)
  • Courant de sonde: 3 pA à 20 nA
  • Tension d’accélération : 0,02 – 30 kV
  • Mode pression variable (10 à 60 Pa)
  • Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley
  • Détecteur d’électrons secondaires dans la lentille (InLens)
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés BxE
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés (aBSD4)
  • Détecteur VPSE (mode pression variable)
  • Platine : X : 153 mm / Y : 153 mm / Z : 50 mm / Z’ : 13 mm / Inclinaison : -15 à 70 degrés / Rotation : 360 degrés en continu
  • Détecteur de rayons X (EDS) : Oxford Ultim Max qui permet l’identification chimique élémentaire.