Microscope électronique à balayage à émission de champ
Microscope électronique à balayage à émission de champ
| FABRICANT | Zeiss |
|---|---|
| MODÈLE | GeminiSEM 560 |
Description générale :
Caractérisation de surface et analyse chimique élémentaire
Caractéristiques :
- Résolution : 0,5 nm @ 15 kV / 0,8 nm @ 1 kV / 1,0 nm @ 500 V
- Grossissement: 1X à 2000000X
- Canon à électrons: Émission de champs (Schottky)
- Courant de sonde: 3 pA à 20 nA
- Tension d’accélération : 0,02 – 30 kV
- Mode pression variable (10 à 60 Pa)
- Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley
- Détecteur d’électrons secondaires dans la lentille (InLens)
- Détecteur d’électrons rétrodiffusés BxE
- Détecteur d’électrons rétrodiffusés (aBSD4)
- Détecteur VPSE (mode pression variable)
- Platine : X : 153 mm / Y : 153 mm / Z : 50 mm / Z’ : 13 mm / Inclinaison : -15 à 70 degrés / Rotation : 360 degrés en continu
- Détecteur de rayons X (EDS) : Oxford Ultim Max qui permet l’identification chimique élémentaire.
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