Distributeur et développeur de photo-résine
Distributeur et développeur de photo-résine
| FABRICANT | TEL Tokyo Electron |
|---|---|
| MODÈLE | Cleantrack ACT-8 |
Description générale :
Distributeur et développeur de photo-résine
Caractéristiques :
- Possède une interface directe avec le stepper ASML
- Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative
- KMPR-1005 (1002), avec parois à 90 °
- OIR-647-17 (11), murs droits
- Permet à la cyclopentanone ou au HMDS de pré-mouiller pour les photo-résines concernées
- Développe des résines positives et négatives
- Comprend des capacités de cuisson douce et post-exposition
- Développe des films secs
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