Décapage
Décapage
| FABRICANT | ULVAC |
|---|---|
| MODÈLE | Enviro-1Xa 200 mm |
Description générale :
Ablation de polymère avancée en mode à une seule tranche
Caractéristiques :
- Choix des sources de plasma
- Le gax de formage à 3.5% offre l’avantage de la catalyse pour la génération d’oxygène atomique dans le plasma
- Possibilité de gaz supplémentaire pour l’élimination des polymères de procédé Bosch
- Excellente uniformité et répétabilité
- Haut débit
- Détection de point final
- Incinération très rapide d’une variété de polymères:
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