Lithographie / “5X Stepper”
Lithographie / “5X Stepper”
| FABRICANT | ASML |
|---|---|
| MODÈLE | PAS5500 / 200B |
Description générale :
Aligneur et imagerie à stades multiples.
Caractéristiques :
- 5X Stepper Aligner
- Résolution jusqu’à 350 nm
- Alignement avant-avant: 50 nm, 3 sigma
- Alignement dos à dos: 80 nm, 3 sigma
- Alignement avant-arrière: 210 nm, 3 sigma
- Interface directe avec la piste de développement de revêtement TEL
- Expositions de film sec
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